生産技術・製品開発ディビジョン

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「高性能圧電体薄膜の開発とMEMS応用」(7/3) [2013年6月26日 公開]

 時下益々ご清祥のこととお慶び申し上げます。
 さて、下記の通り、電子情報技術部会・次世代エレクトロニクス分科会の講演会を
開催いたしますので、ご出席下さいますようご案内申し上げます。なお、講演会終了後、講師の先生を囲んでの懇親会を予定しております。参加費無料で開催しておりますので、併せてご連絡いたします。
また、関係部署にもご案内いただけますようお願い申しあげます。
 
 
1.日時 2013年7月3日(水) 14:00〜18:00
             (受付は13:30からとなります)
 
2.場所 当協会会議室
 
3.講演(1)14:00〜15:30   *受付は13:30からとなります*
 
  講師:中嶋 宇史 氏
      東北大学金属材料研究所 助教
 
  演題:「圧電ポリマーを用いたエネルギーハーベスティング」
 
  要旨:化石燃料の枯渇や地球温暖化さらには原子力発電の安全性への懸念を背景に、
     風力発電や太陽光発電を代表とする大規模な環境発電の開発が加速している。一方で、我々の身の回りに存在する環境エネルギーから、比較的小さな電気エネルギーを獲得する“エネルギーハーベスティング”に関する関心が、近年、国際的に高まりつつある。この技術の最大の特徴は、環境エネルギーが存在している限り半永久的に電力を供給することができる点にあり、電池交換や電気配線を必要としないデバイスへの応用が期待されている。本講演では、エネルギーハーベスティング技術の概要、研究動向、ならびに我々が取り組んできた圧電ポリマーを用いた振動発電エネルギーハーベスティングに関して、その特徴と定量的扱いについて実施例を交えながら解説したい。
 
 
  講演(2)15:30〜17:00
 
  講師:藤井 隆満 氏
      富士フイルム株式会社 R&D統括本部
      アドバンストマーキング研究所 マネージャー
 
  演題:「高性能圧電体薄膜の開発とMEMS応用」
 
  要旨:スパッタ法を用いて6インチSiウェハ上にNbドープしたPZT薄膜を再現性良く形成する技術の開発を行なった。得られた膜の圧電定数はe31,f=25.1C/m2(d31=250pm/V)と従来のPZT膜より2倍程度大きい。また、この膜の特長としてas-depo状態で分極方向が一定方向に揃っていることが挙げられ、分極不要かつ安定性が高く応用上有利である。膜のデータを紹介し応用展開に関して紹介する。
 
 
  懇親会 17:10〜18:10
 
4.参加申込:当協会のホームページよりお申し込みください。
        http://www.jaci.or.jp
5.参加費: 当日受付でお支払いください。
       会員:無料(会員リスト:http://www.jaci.or.jp/member_group/
       コラボレーションメンバー:無料
       上記以外:10,000円
  懇親会費:無料
 
6.お問い合わせ先:当協会 事業部 event@jaci.or.jp